Description du livre
Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la
photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en
couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des
microaccéléromètres ou encore des matrices de micromiroirs. La
photolithographie, ainsi que les méthodes de dépôt, de gravure, et de
caractérisation de couches minces sont décrites dans ce volume. Des
exemples de procédés et de réalisations permettront aux étudiants et aux
ingénieurs de se familiariser avec les possibilités, mais aussi
d'appréhender les limites de ces technologies.